系统采用多个高速工业相机在多方位进行检测的独特方式，可进行衬底外延缺陷检测 、TSV-TGV深穿孔量测、高精度晶圆厚度平面测量、微凸块3D检测等多方面进行订制，可有效的提高对产品外观质量的把控力度，保证产品外观质量和精度，时刻反馈前道生产工艺异常状况，有利于把控生产工艺。